Coursework/Micromechatronics の履歴(No.3)

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  • 1 (2018-12-17 (月) 10:25:06)
  • 2 (2023-09-21 (木) 22:38:47)
  • 3 (2023-09-24 (日) 18:10:51)

配布リンクは開設６０日後に自動的にリンクが切れますので、再開希望の際には担当教員に連絡してください

マイクロメカトロニクス†

時間割コード†

• 東京大学大学院工学系研究科　３７４７−０２１

教室†

• 本郷・工学系新２号館２４４教室

授業日†

• 毎週月曜日２限

授業の方法†

• 平行平板型静電アクチュエータの等価回路を基本にして、そこからＭＥＭＳアクチュエータ、静電容量型センサ（加速度センサ）、可変静電容量（ＲＦ−ＭＥＭＳキャパシタ）、可変リアクタ、共振回路、ジャイロスコープ、静電誘導型振動発電（エナジーハーベスタ）の等価回路モデルを導出し、これらのＭＥＭＳ機構の動作を電気回路の観点から理解します。
• ＰＣプロジェクタ＋配布資料、または、板書
• 第５回〜第８回にはノートＰＣを持参。電子回路シミュレータ（LTspice 最新版）をインストールしておくこと。
  • LTspice: http://www.analog.com/jp/design-center/design-tools-and-calculators/ltspice-simulator.html

成績評価†

• 授業レポート

教科書・参考書†

とくに指定なし。

配付資料†

• ＬＴｓｐｉｃｅによるＭＥＭＳ等価回路ライブラリ（配布リンクは開設６０日後に自動的にリンクが切れますので、再開希望の際には担当教員に連絡してください）
  • https://webfs.iis.u-tokyo.ac.jp/public/yHr8gAHHTUiAOpUBLc5m70G30wuaAPOp6Tl_FH-55pKg
• 加速度センサ、シリコン共振子
  • https://webfs.iis.u-tokyo.ac.jp/public/jHscgAzHQYiAOEsByrpnpU8IRo0bsP3butlM4okLC8EC
• 振動発電素子
  • https://webfs.iis.u-tokyo.ac.jp/public/vHmwgAAHsUiA1A0BvdFn26O5WtmJ43E4kgmzJyLMr7sP

講義予定†