News/2017-11-30
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開始行:
*豊橋技術科学大学でＭＥＭＳの特別講義を開講しました。&br;...
豊橋技術科学大学でＭＥＭＳの基礎と応用に関する集中講義（...
*ＭＥＭＳの基礎とＩｏＴへの最先端応用 [#dc7faba6]
#ref(2017-11-30.jpg,right,around,zoom,250x250)
+イントロダクション
+ＭＥＭＳプロセス
+センサ・アクチュエータ
+エナジーハーベスタ
#clear
*レポート課題 [#x8d1db16]
**第１問 [#faabd1cc]
#ref(2017-11-30A.jpg,right,around,zoom,250x250)
講義で説明した平行平板型静電アクチュエータには、変位が初...
F = (1/2) εSUB{0} S VSUP{2} / ( g - x )SUP{2}~
εSUB{0} : 真空の誘電率~
S : 平行平板電極の面積~
g : 平行平板電極間の初期ギャップ~
x : 可動電極の変位（ギャップが狭くなる向きに正）~
V : 印加電圧~
なお、バネの復元力には、~
F = k x~
k : バネ定数~
を用いてよい。
#clear
**第２問 [#y8cbf1e2]
#ref(moving_shuttle.GIF,right,around,zoom,250x250)
静電駆動力の基本は、電荷QSUB{1}とQSUB{2}の間に働くクーロ...
F = 1 / (4 π εSUB{0}) QSUB{1} QSUB{2} / rSUP{2}~
r: 電荷間の距離~
静電引力と静電斥力の違いは、QSUB{1}とQSUB{2}の符号だけで...
終了行:
*豊橋技術科学大学でＭＥＭＳの特別講義を開講しました。&br;...
豊橋技術科学大学でＭＥＭＳの基礎と応用に関する集中講義（...
*ＭＥＭＳの基礎とＩｏＴへの最先端応用 [#dc7faba6]
#ref(2017-11-30.jpg,right,around,zoom,250x250)
+イントロダクション
+ＭＥＭＳプロセス
+センサ・アクチュエータ
+エナジーハーベスタ
#clear
*レポート課題 [#x8d1db16]
**第１問 [#faabd1cc]
#ref(2017-11-30A.jpg,right,around,zoom,250x250)
講義で説明した平行平板型静電アクチュエータには、変位が初...
F = (1/2) εSUB{0} S VSUP{2} / ( g - x )SUP{2}~
εSUB{0} : 真空の誘電率~
S : 平行平板電極の面積~
g : 平行平板電極間の初期ギャップ~
x : 可動電極の変位（ギャップが狭くなる向きに正）~
V : 印加電圧~
なお、バネの復元力には、~
F = k x~
k : バネ定数~
を用いてよい。
#clear
**第２問 [#y8cbf1e2]
#ref(moving_shuttle.GIF,right,around,zoom,250x250)
静電駆動力の基本は、電荷QSUB{1}とQSUB{2}の間に働くクーロ...
F = 1 / (4 π εSUB{0}) QSUB{1} QSUB{2} / rSUP{2}~
r: 電荷間の距離~
静電引力と静電斥力の違いは、QSUB{1}とQSUB{2}の符号だけで...
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![[PukiWiki]](image/XYstage.jpg "[PukiWiki]")
