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[[Research]]
Archives &size(11){Under construction. Pages are manually...
*Energy Harvester / Power MEMS [#f4f6681d]
**戦略的創造研究推進事業（ＣＲＥＳＴ）「[[微小エネルギー...
#ref(Research/EH2016-05-25.png,right,around,nolink,zoom,1...
#ref(News/2017-06-22/2017-06-22B.png,right,around,nolink,...
-本研究では、次世代の無線センサノードに必要な１０ｍＷ級の...
--[[JST-Fair 2017 Poster>[[News/2017-08-31]]]]
**ＮＥＤＯエネルギー・環境新技術先導プログラム（２０１５...
//#ref(MEHroadmap_2015-03-03.png,around,right,zoom,300x300)
//-[[Research/NEDO-MEH]]
#ref("MEMS Lab, IIS, UTokyo/GreenEH.jpg",left,around,noli...
>''NEDO'': A Study on High Efficiency MEMS Micro Energy H...
>>>''ＮＥＤＯエネルギー・環境新技術先導プログラム''「トリ...
>''NEDO'': Learning-based Smart Sensing System with Valua...
>>>''ＮＥＤＯ ＩｏＴ推進のための横断技術開発プロジェクト'...
-[[Project Poster (from NEDO pamphlet)>[[Research/NEDO-ME...
#clear
*集積化ＭＥＭＳ&br;Integrated MEMS [#c6248044]
-本来ＭＥＭＳとはマイクロエレクトロニクスとマイクロメカニ...
**日本学術振興会／内閣府 最先端・次世代研究開発支援プロ...
#ref(Research/NEXT Overview/yuheonchip3.png,around,right,...
-２０１１年２月から２０１４年３月までの期間、日本学術振興...
//
--研究成果報告&br;[[Output Report>[[Research/NEXT Poster ...
--研究全体の説明&br;[[Overview>[[Research/NEXT Overview]]...
--回路シミュレータＬＴＳｐｉｃｅを用いたＣＭＯＳ−ＭＥＭＳ...
--回路シミュレータＱｕｃｓを用いたＭＥＭＳ解析手法&br;[[M...
--低消費電力エレクトロニクスのためのＭＥＭＳパワーゲート...
--ＭＥＭＳ可変容量による８００ＭＨｚ帯ＶＣＯ&br;[[Voltage...
--プログラマブルＭＥＭＳ-ＰＺＴ共振子アレイ&br;[[Programm...
--ＭＥＭＳ技術を用いたオールインワンポータブルＯＣＴシス...
--光駆動型ＭＥＭＳマイクロミラーによる光ファイバ内視鏡&br...
#ref(Research/MEMS Gratings Integrated with High Voltage ...
--高電圧レベルシフタ回路とＭＥＭＳ回折格子の集積化&br;[[M...
//
--データストレージ用ＭＥＭＳ／ＮＥＭＳ構造&br;Micro-Nano ...
//
--ＭＥＭＳアクチュエータとアナログ高電圧駆動回路のモノリ...
//
--ＭＥＭＳアクチュエータの制御回路の集積化&br;[[Monolithi...
*RF-MEMS / THz (Terahertz) Metamaterials [#s2b59ddd]
//#ref(iconRF.jpg,left,nolink,around,50%)
#ref(Photo Monthly/varicap20121222.png,around,right,nolin...
//#ref(Photo Monthly/THzMtM1-20013-05-01.png,around,right...
//
-ＲＦ－ＭＥＭＳ応用として、マイクロメカニカル周波数フィル...
--ＭＥＭＳ技術による可変メタマテリアル・アンテナ&br;Varia...
--ＭＥＭＳ技術によるＴＨｚ帯可変メタマテリアル&br;[[Tunab...
--ＭＥＭＳ可変容量による８００ＭＨｚ帯ＶＣＯ&br;[[Voltage...
--機能レイヤ分離設計によるＳＯＩ−ＲＦ−ＭＥＭＳ受動素子に...
--マイクロ波帯メタマテリアル導波路&br;[[RF-MEMS Metamater...
--５．８ＧＨｚ移相器用ＲＦ－ＭＥＭＳスイッチ&br;[[RF-MEMS...
--真空マイクロエレクトロニクスによる周波数フィルタ&br;[[R...
//-[[Research/SOI-Bulkmicromachined MEMS SPST Switch usin...
//-[[Research/RF-MEMS Switch for 12GHz Band]]
//-[[１２ＧＨｚ帯ＲＦ-ＭＥＭＳスイッチ>[[Research/RF-MEMS...
//-ＳＯＩバルクマイクロマシニングによるメッキ金属接点型Ｒ...
//[[Research/SOI-Bulkmicromachined MEMS SPST Switch using...
*Optical MEMS [#r60ac8c5]
**MEMS Image Displays [#s2124238]
//#ref(iconDISP.jpg,nolink,left,around,50%)
#ref(Research/MEMS Optical Scanner for Laser Projection I...
-ＭＥＭＳ技術による光変調器は画像ディスプレィに応用可能で...
//
--レーザー描画型インタラクティブ画像ディスプレィ&br;Inter...
--画像ディスプレィ用ＭＥＭＳ光スキャナへの応用&br;[[MEMS ...
--ＭＥＭＳ画像ディスプレィ用圧電光スキャナ&br;[[MEMS Opti...
--液中レーザブレイクダウン・プラズマを用いた３次元画像デ...
--３次元画像ディスプレィ用ハイパワーハンドリングＭＥＭＳ...
--ピッチ可変型ＭＥＭＳライトバルブ回折格子&br;MEMS Pitch-...
--フレキシブルＭＥＭＳ画像ディスプレィ&br;[[MEMS Flexible...
**MEMS for Fiber-optic Applications [#jc705290]
//#ref(iconFIBER.jpg,nolink,left,around,50%)
#ref(Research/MEMS Tunable Wavelength Selective Filter/cu...
-本研究室はＭＥＭＳの光ファイバ通信応用を出発点にして発足...
//
--ＭＥＭＳ波長選択フィルタ&br;[[MEMS Tunable Wavelength S...
--くしば型静電アクチュエータを用いたＭＥＭＳ可変減衰器&br...
--平行平板型静電アクチュエータを用いたＭＥＭＳ可変減衰器&...
--光スイッチ用電磁駆動型マイクロトーションミラー&br;[[Opt...
--光ファイバスイッチ用静電マイクロミラー&br;[[Microtorsio...
**Microactuators for Microoptics [#n1fc0fa0]
-光通信応用以外にも、いろいろな光ＭＥＭＳ技術を開発してい...
//
--ＯＣＴ波長可変光源用の高速ＭＥＭＳ光スキャナ&br;[[Fast ...
--プラズモン制御ＭＥＭＳカラーピクセル&br;Plasmon Phonic ...
--ＭＥＭＳ・ＮＥＭＳフォトニック結晶光導波路デバイス&br;[...
--光制御型静電駆動マイクロミラー&br;[[Research/Optically ...
--表面張力を利用した自動組立型垂直くしば型静電アクチュエ...
--マイクロメカニカル構造を用いた微小変位のデジタル／アナ...
--マイクロＸＹステージ駆動型シリコン製マイクロレンズ&br;[...
--シリコンレンズ光スキャナ&br;[[Silicon Bulk Lens Scanner...
--光クロスコネクト応用フォトレジストレンズ型光スキャナ&br...
--レイヤースイッチ設計トポロジーの新概念&br;[[Topological...
**MEMS for Astronomy [#e0534e1c]
//#ref(iconSTAR.jpg,nolink,left,around,50%)
#ref(Photo Monthly/shutters.png,around,nolink,right,zoom,...
//
-非常に小さなマイクロ機械が、「光年」スケールの天文分野に...
//
--ＭＥＭＳレーザレンジファインダ&br;MEMS Laser Range Find...
--天文分光用マイクロシャッタアレイ&br;[[Electrostatically...
--天文分光用ＭＥＭＳシャッタアレイ&br;[[MEMS Microshutter...
**（財）神奈川科学技術アカデミー（ＫＡＳＴ）光メカトロニ...
//
//#ref(kastlogo.png,nolink,left,around)
#ref(Research/Optically Actuated Cantilever with Built-in...
//
-２００５年４月から２００８年３月の３年間、当研究室は財団...
--ＫＡＳＴ光メカトロニクス・プロジェクトの全体構想&br;[[K...
--光駆動型ＭＥＭＳマイクロミラーによる光ファイバ内視鏡&br...
--液中レーザブレイクダウン・プラズマを用いた３次元画像デ...
--集積化光電変換素子による光駆動カンチレバー&br;[[Optical...
--ＡＦＭ型データストレージ用の上下２方向駆動ＭＥＭＳカン...
//--[[財団法人神奈川科学技術アカデミーのプロジェクト説明...
//--See [[KAST Optomechatronics Project>http://www.newkas...
*MEMS Sensors [#h0fdb3e6]
--音響周波数フィルタバンク&br;[[Research/Multichannel Aco...
--液体化学センサ&br;[[Research/Intelligent MEMS Chemical ...
*Large Area MEMS [#k4795d41]
//#ref(iconR2R.jpg,nolink,left,around,50%)
#ref(Research/MEMS Flexible Display/flexible.png,around,r...
//
-半導体プロセスはフォトマスクやウエハのサイズによって、で...
//
--大面積ＭＥＭＳ技術によるＴＨｚ帯メタマテリアル&br;Large...
--インクジェット・プリントによる大面積ＭＥＭＳ&br;[[Large...
--プラスチックＭＥＭＳ技術を用いたフレキシブル電子ポスタ...
*MEMS Process and Micromechanical Structures [#r4a24742]
-ＭＥＭＳプロセスの基本として、さまざまなシリコン・マイク...
//
--化学実験器具でできる蒸気フッ酸によるリリース法&br;[[Vap...
--表面化学改質によるスティクションの低減&br;[[High-Yield ...
--高アスペクト比ドライエッチング&br;High Aspect Ratio Dry...
--ＤＰオイルを使ったＤＲＩＥ中のウエハ固定&br;[[DRIE Wafe...
--両持ち梁の座屈現象を利用したＭＥＭＳ型メモリ素子&br;[[M...
--水晶の圧電性を利用したマクロアクチュエータとその製作法&...
--ハードディスク・ドライブのヘッド位置決め機構用ＭＥＭＳ...
--シリコン高アスペクト比ドライエッチングによるマイクロコ...
--シリコン共振器アレイによる周波数フィルタバンク&br;[[Mul...
*Tips [#p9c68f60]
-ＭＥＭＳ研究に役立つちょっとしたヒント集です。&br;MEMS i...
//
--シリコンの結晶異方性を理解するための箱&br;[[Silicon Cub...
--静電アクチュエータ用高電圧アンプ（１）ディスクリート組...
--静電アクチュエータ用高電圧アンプ（２）オペアンプ製&br;[...
--高電圧レベルシフタ Penny Driver (1)&br;[[High Voltage D...
--高電圧レベルシフタ Penny Driver (2)&br;[[High Voltage D...
--高電圧発生器・コッククロフト-ウォルトン型チャージポンプ...
--ＭＥＭＳ特性評価用小型真空チャンバ&br;[[Handy Vacuum Ch...
--チョロＱ使用真空封止&br;[[Home-made Vacuum Seal>[[Hint/...
--自家製ＰＣクーラー&br;[[Home-made PC Cooler>[[Hint/Hand...
--メムザウルス&br;[[MEMSAURS>[[Research/MEMSAURS]]]] (200...
--[[Quiz]]
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Archives &size(11){Under construction. Pages are manually...
*Energy Harvester / Power MEMS [#f4f6681d]
**戦略的創造研究推進事業（ＣＲＥＳＴ）「[[微小エネルギー...
#ref(Research/EH2016-05-25.png,right,around,nolink,zoom,1...
#ref(News/2017-06-22/2017-06-22B.png,right,around,nolink,...
-本研究では、次世代の無線センサノードに必要な１０ｍＷ級の...
--[[JST-Fair 2017 Poster>[[News/2017-08-31]]]]
**ＮＥＤＯエネルギー・環境新技術先導プログラム（２０１５...
//#ref(MEHroadmap_2015-03-03.png,around,right,zoom,300x300)
//-[[Research/NEDO-MEH]]
#ref("MEMS Lab, IIS, UTokyo/GreenEH.jpg",left,around,noli...
>''NEDO'': A Study on High Efficiency MEMS Micro Energy H...
>>>''ＮＥＤＯエネルギー・環境新技術先導プログラム''「トリ...
>''NEDO'': Learning-based Smart Sensing System with Valua...
>>>''ＮＥＤＯ ＩｏＴ推進のための横断技術開発プロジェクト'...
-[[Project Poster (from NEDO pamphlet)>[[Research/NEDO-ME...
#clear
*集積化ＭＥＭＳ&br;Integrated MEMS [#c6248044]
-本来ＭＥＭＳとはマイクロエレクトロニクスとマイクロメカニ...
**日本学術振興会／内閣府 最先端・次世代研究開発支援プロ...
#ref(Research/NEXT Overview/yuheonchip3.png,around,right,...
-２０１１年２月から２０１４年３月までの期間、日本学術振興...
//
--研究成果報告&br;[[Output Report>[[Research/NEXT Poster ...
--研究全体の説明&br;[[Overview>[[Research/NEXT Overview]]...
--回路シミュレータＬＴＳｐｉｃｅを用いたＣＭＯＳ−ＭＥＭＳ...
--回路シミュレータＱｕｃｓを用いたＭＥＭＳ解析手法&br;[[M...
--低消費電力エレクトロニクスのためのＭＥＭＳパワーゲート...
--ＭＥＭＳ可変容量による８００ＭＨｚ帯ＶＣＯ&br;[[Voltage...
--プログラマブルＭＥＭＳ-ＰＺＴ共振子アレイ&br;[[Programm...
--ＭＥＭＳ技術を用いたオールインワンポータブルＯＣＴシス...
--光駆動型ＭＥＭＳマイクロミラーによる光ファイバ内視鏡&br...
#ref(Research/MEMS Gratings Integrated with High Voltage ...
--高電圧レベルシフタ回路とＭＥＭＳ回折格子の集積化&br;[[M...
//
--データストレージ用ＭＥＭＳ／ＮＥＭＳ構造&br;Micro-Nano ...
//
--ＭＥＭＳアクチュエータとアナログ高電圧駆動回路のモノリ...
//
--ＭＥＭＳアクチュエータの制御回路の集積化&br;[[Monolithi...
*RF-MEMS / THz (Terahertz) Metamaterials [#s2b59ddd]
//#ref(iconRF.jpg,left,nolink,around,50%)
#ref(Photo Monthly/varicap20121222.png,around,right,nolin...
//#ref(Photo Monthly/THzMtM1-20013-05-01.png,around,right...
//
-ＲＦ－ＭＥＭＳ応用として、マイクロメカニカル周波数フィル...
--ＭＥＭＳ技術による可変メタマテリアル・アンテナ&br;Varia...
--ＭＥＭＳ技術によるＴＨｚ帯可変メタマテリアル&br;[[Tunab...
--ＭＥＭＳ可変容量による８００ＭＨｚ帯ＶＣＯ&br;[[Voltage...
--機能レイヤ分離設計によるＳＯＩ−ＲＦ−ＭＥＭＳ受動素子に...
--マイクロ波帯メタマテリアル導波路&br;[[RF-MEMS Metamater...
--５．８ＧＨｚ移相器用ＲＦ－ＭＥＭＳスイッチ&br;[[RF-MEMS...
--真空マイクロエレクトロニクスによる周波数フィルタ&br;[[R...
//-[[Research/SOI-Bulkmicromachined MEMS SPST Switch usin...
//-[[Research/RF-MEMS Switch for 12GHz Band]]
//-[[１２ＧＨｚ帯ＲＦ-ＭＥＭＳスイッチ>[[Research/RF-MEMS...
//-ＳＯＩバルクマイクロマシニングによるメッキ金属接点型Ｒ...
//[[Research/SOI-Bulkmicromachined MEMS SPST Switch using...
*Optical MEMS [#r60ac8c5]
**MEMS Image Displays [#s2124238]
//#ref(iconDISP.jpg,nolink,left,around,50%)
#ref(Research/MEMS Optical Scanner for Laser Projection I...
-ＭＥＭＳ技術による光変調器は画像ディスプレィに応用可能で...
//
--レーザー描画型インタラクティブ画像ディスプレィ&br;Inter...
--画像ディスプレィ用ＭＥＭＳ光スキャナへの応用&br;[[MEMS ...
--ＭＥＭＳ画像ディスプレィ用圧電光スキャナ&br;[[MEMS Opti...
--液中レーザブレイクダウン・プラズマを用いた３次元画像デ...
--３次元画像ディスプレィ用ハイパワーハンドリングＭＥＭＳ...
--ピッチ可変型ＭＥＭＳライトバルブ回折格子&br;MEMS Pitch-...
--フレキシブルＭＥＭＳ画像ディスプレィ&br;[[MEMS Flexible...
**MEMS for Fiber-optic Applications [#jc705290]
//#ref(iconFIBER.jpg,nolink,left,around,50%)
#ref(Research/MEMS Tunable Wavelength Selective Filter/cu...
-本研究室はＭＥＭＳの光ファイバ通信応用を出発点にして発足...
//
--ＭＥＭＳ波長選択フィルタ&br;[[MEMS Tunable Wavelength S...
--くしば型静電アクチュエータを用いたＭＥＭＳ可変減衰器&br...
--平行平板型静電アクチュエータを用いたＭＥＭＳ可変減衰器&...
--光スイッチ用電磁駆動型マイクロトーションミラー&br;[[Opt...
--光ファイバスイッチ用静電マイクロミラー&br;[[Microtorsio...
**Microactuators for Microoptics [#n1fc0fa0]
-光通信応用以外にも、いろいろな光ＭＥＭＳ技術を開発してい...
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--ＯＣＴ波長可変光源用の高速ＭＥＭＳ光スキャナ&br;[[Fast ...
--プラズモン制御ＭＥＭＳカラーピクセル&br;Plasmon Phonic ...
--ＭＥＭＳ・ＮＥＭＳフォトニック結晶光導波路デバイス&br;[...
--光制御型静電駆動マイクロミラー&br;[[Research/Optically ...
--表面張力を利用した自動組立型垂直くしば型静電アクチュエ...
--マイクロメカニカル構造を用いた微小変位のデジタル／アナ...
--マイクロＸＹステージ駆動型シリコン製マイクロレンズ&br;[...
--シリコンレンズ光スキャナ&br;[[Silicon Bulk Lens Scanner...
--光クロスコネクト応用フォトレジストレンズ型光スキャナ&br...
--レイヤースイッチ設計トポロジーの新概念&br;[[Topological...
**MEMS for Astronomy [#e0534e1c]
//#ref(iconSTAR.jpg,nolink,left,around,50%)
#ref(Photo Monthly/shutters.png,around,nolink,right,zoom,...
//
-非常に小さなマイクロ機械が、「光年」スケールの天文分野に...
//
--ＭＥＭＳレーザレンジファインダ&br;MEMS Laser Range Find...
--天文分光用マイクロシャッタアレイ&br;[[Electrostatically...
--天文分光用ＭＥＭＳシャッタアレイ&br;[[MEMS Microshutter...
**（財）神奈川科学技術アカデミー（ＫＡＳＴ）光メカトロニ...
//
//#ref(kastlogo.png,nolink,left,around)
#ref(Research/Optically Actuated Cantilever with Built-in...
//
-２００５年４月から２００８年３月の３年間、当研究室は財団...
--ＫＡＳＴ光メカトロニクス・プロジェクトの全体構想&br;[[K...
--光駆動型ＭＥＭＳマイクロミラーによる光ファイバ内視鏡&br...
--液中レーザブレイクダウン・プラズマを用いた３次元画像デ...
--集積化光電変換素子による光駆動カンチレバー&br;[[Optical...
--ＡＦＭ型データストレージ用の上下２方向駆動ＭＥＭＳカン...
//--[[財団法人神奈川科学技術アカデミーのプロジェクト説明...
//--See [[KAST Optomechatronics Project>http://www.newkas...
*MEMS Sensors [#h0fdb3e6]
--音響周波数フィルタバンク&br;[[Research/Multichannel Aco...
--液体化学センサ&br;[[Research/Intelligent MEMS Chemical ...
*Large Area MEMS [#k4795d41]
//#ref(iconR2R.jpg,nolink,left,around,50%)
#ref(Research/MEMS Flexible Display/flexible.png,around,r...
//
-半導体プロセスはフォトマスクやウエハのサイズによって、で...
//
--大面積ＭＥＭＳ技術によるＴＨｚ帯メタマテリアル&br;Large...
--インクジェット・プリントによる大面積ＭＥＭＳ&br;[[Large...
--プラスチックＭＥＭＳ技術を用いたフレキシブル電子ポスタ...
*MEMS Process and Micromechanical Structures [#r4a24742]
-ＭＥＭＳプロセスの基本として、さまざまなシリコン・マイク...
//
--化学実験器具でできる蒸気フッ酸によるリリース法&br;[[Vap...
--表面化学改質によるスティクションの低減&br;[[High-Yield ...
--高アスペクト比ドライエッチング&br;High Aspect Ratio Dry...
--ＤＰオイルを使ったＤＲＩＥ中のウエハ固定&br;[[DRIE Wafe...
--両持ち梁の座屈現象を利用したＭＥＭＳ型メモリ素子&br;[[M...
--水晶の圧電性を利用したマクロアクチュエータとその製作法&...
--ハードディスク・ドライブのヘッド位置決め機構用ＭＥＭＳ...
--シリコン高アスペクト比ドライエッチングによるマイクロコ...
--シリコン共振器アレイによる周波数フィルタバンク&br;[[Mul...
*Tips [#p9c68f60]
-ＭＥＭＳ研究に役立つちょっとしたヒント集です。&br;MEMS i...
//
--シリコンの結晶異方性を理解するための箱&br;[[Silicon Cub...
--静電アクチュエータ用高電圧アンプ（１）ディスクリート組...
--静電アクチュエータ用高電圧アンプ（２）オペアンプ製&br;[...
--高電圧レベルシフタ Penny Driver (1)&br;[[High Voltage D...
--高電圧レベルシフタ Penny Driver (2)&br;[[High Voltage D...
--高電圧発生器・コッククロフト-ウォルトン型チャージポンプ...
--ＭＥＭＳ特性評価用小型真空チャンバ&br;[[Handy Vacuum Ch...
--チョロＱ使用真空封止&br;[[Home-made Vacuum Seal>[[Hint/...
--自家製ＰＣクーラー&br;[[Home-made PC Cooler>[[Hint/Hand...
--メムザウルス&br;[[MEMSAURS>[[Research/MEMSAURS]]]] (200...
--[[Quiz]]
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