Research/Wavelength Tunable Light Source for the Next Generation OCT System by High-speed MEMS Optical Scanner
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//#author("2019-02-17T14:45:38+00:00","default:hiroshi","...
*高速MEMS光スキャナを用いた波長可変レーザー光源による...
光干渉画像法 (OCT = Optical Coherence Tomography) と...
We present an electrostatic vertical comb-drive MEMS opti...
**はじめに&br;Introduction [#pae068d9]
#ref(Fig1.png,wrap,around,50%)
#ref(Fig2.png,wrap,around,34%)
ここでご紹介する光スキャナは、レーザー顕微鏡の観察部位走...
Optical coherent tomography (OCT) is a novel human-friend...
#clear
**MEMS光スキャナの駆動原理&br;Operation Principle of ...
#ref(Fig3.png,wrap,around,40%)
MEMS型の光スキャナはポリゴンミラーに比べて慣性モーメ...
一般の垂直櫛歯型の光スキャナは、アクチュエータの板とミラ...
Figure on the left compares two different schemes for the...
#clear
**製作方法&br;Fabrication Proces [#oe0ccb07]
#ref(Fig4.png,wrap,around,30%)
光スキャナの製作方法は、マスク2枚のみの大変簡単なプロセ...
We used an SOI wafer of a 60-µm-thick active layer and a ...
#clear
**性能&br;Performance Demonstration [#q767678e]
#ref(Fig5.png,wrap,around,30%)
駆動電圧DC70±AC70V駆動で、共振周波数70kHz、ビ...
We used the round trip of the scanner’s motion to sweep t...
#clear
#ref(Table1.png,wrap,around,50%)
#clear
**謝辞&br;Acknowledgement [#n2a8775b]
本研究は、santec株式会社との共同研究として実施中で...
This work has been performed in collaboration with Santec...
**紹介ポスター&br;Openhouse Poster [#p1c83671]
#ref(OCT.png,wrap,around,20%)
終了行:
//#author("2019-02-17T14:45:38+00:00","default:hiroshi","...
*高速MEMS光スキャナを用いた波長可変レーザー光源による...
光干渉画像法 (OCT = Optical Coherence Tomography) と...
We present an electrostatic vertical comb-drive MEMS opti...
**はじめに&br;Introduction [#pae068d9]
#ref(Fig1.png,wrap,around,50%)
#ref(Fig2.png,wrap,around,34%)
ここでご紹介する光スキャナは、レーザー顕微鏡の観察部位走...
Optical coherent tomography (OCT) is a novel human-friend...
#clear
**MEMS光スキャナの駆動原理&br;Operation Principle of ...
#ref(Fig3.png,wrap,around,40%)
MEMS型の光スキャナはポリゴンミラーに比べて慣性モーメ...
一般の垂直櫛歯型の光スキャナは、アクチュエータの板とミラ...
Figure on the left compares two different schemes for the...
#clear
**製作方法&br;Fabrication Proces [#oe0ccb07]
#ref(Fig4.png,wrap,around,30%)
光スキャナの製作方法は、マスク2枚のみの大変簡単なプロセ...
We used an SOI wafer of a 60-µm-thick active layer and a ...
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**性能&br;Performance Demonstration [#q767678e]
#ref(Fig5.png,wrap,around,30%)
駆動電圧DC70±AC70V駆動で、共振周波数70kHz、ビ...
We used the round trip of the scanner’s motion to sweep t...
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#ref(Table1.png,wrap,around,50%)
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**謝辞&br;Acknowledgement [#n2a8775b]
本研究は、santec株式会社との共同研究として実施中で...
This work has been performed in collaboration with Santec...
**紹介ポスター&br;Openhouse Poster [#p1c83671]
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