What is MEMS?/Academic Roadmap
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#include(What is MEMS?)
''ラボ教員らが中心となって策定した応用物理学会の将来ビジ...
出典：年吉 洋、「[[マイクロ･ナノメカトロニクス（アカデミ...
*１３ マイクロ・ナノメカトロニクス技術 将来ビジョンマッ...
マイクロ・ナノメカトロニクス技術クラスター~
応用物理学会・集積化ＭＥＭＳ技術委員会（編）
マイクロ・ナノメカトロニクス技術分野では、平成２０年度に...
**１３－１．ＭＥＭＳとマイクロセンサ [#f43875a5]
ＭＥＭＳ技術等に立脚したマイクロナノマシンやセンサには、...
人間でも、その場の状況を的確に感じ取り、いち早く適切な行...
**１３－２．実用化の動向と展望 [#q32bf2b3]
現在のＭＥＭＳ研究開発分野においては、小型で省エネルギー...
自動車のエアバッグ用加速度センサや燃焼制御用圧力センサ以...
健康管理用には、携帯可能な安価で小型の人体の体液分析チッ...
五感のいずれかが不自由な方や、身体障害や麻痺のある方など...
インクジェットプリンタのヘッドは、ＭＥＭＳ技術がシリコン...
ＭＥＭＳ技術を用いることにより、光通信網の通信速度の向上...
モバイル機器に、ＲＦ-ＭＥＭＳ型のスイッチや共振器、フィル...
集積回路とＭＥＭＳを一体化する技術により、加速度計や可動...
#ref(http://toshi.iis.u-tokyo.ac.jp/toshilab/?plugin=atta...
**１３－３．ナノと大面積化を目指す展開（サブマップに関す...
２０４０年のＭＥＭＳ分野では、トップダウンプロセスである...
ナノ構造の機能を工学的に生かす場合、材料としてナノ構造の...
トップダウン法では、十ナノメートル程度の構造までは再現性...
すなわち、電子回路や機械の微細化を追求する極限として、数...
上述のボトムアップ・トップダウン的アプローチは、デバイス...
#ref(http://toshi.iis.u-tokyo.ac.jp/toshilab/?plugin=atta...
終了行:
#include(What is MEMS?)
''ラボ教員らが中心となって策定した応用物理学会の将来ビジ...
出典：年吉 洋、「[[マイクロ･ナノメカトロニクス（アカデミ...
*１３ マイクロ・ナノメカトロニクス技術 将来ビジョンマッ...
マイクロ・ナノメカトロニクス技術クラスター~
応用物理学会・集積化ＭＥＭＳ技術委員会（編）
マイクロ・ナノメカトロニクス技術分野では、平成２０年度に...
**１３－１．ＭＥＭＳとマイクロセンサ [#f43875a5]
ＭＥＭＳ技術等に立脚したマイクロナノマシンやセンサには、...
人間でも、その場の状況を的確に感じ取り、いち早く適切な行...
**１３－２．実用化の動向と展望 [#q32bf2b3]
現在のＭＥＭＳ研究開発分野においては、小型で省エネルギー...
自動車のエアバッグ用加速度センサや燃焼制御用圧力センサ以...
健康管理用には、携帯可能な安価で小型の人体の体液分析チッ...
五感のいずれかが不自由な方や、身体障害や麻痺のある方など...
インクジェットプリンタのヘッドは、ＭＥＭＳ技術がシリコン...
ＭＥＭＳ技術を用いることにより、光通信網の通信速度の向上...
モバイル機器に、ＲＦ-ＭＥＭＳ型のスイッチや共振器、フィル...
集積回路とＭＥＭＳを一体化する技術により、加速度計や可動...
#ref(http://toshi.iis.u-tokyo.ac.jp/toshilab/?plugin=atta...
**１３－３．ナノと大面積化を目指す展開（サブマップに関す...
２０４０年のＭＥＭＳ分野では、トップダウンプロセスである...
ナノ構造の機能を工学的に生かす場合、材料としてナノ構造の...
トップダウン法では、十ナノメートル程度の構造までは再現性...
すなわち、電子回路や機械の微細化を追求する極限として、数...
上述のボトムアップ・トップダウン的アプローチは、デバイス...
#ref(http://toshi.iis.u-tokyo.ac.jp/toshilab/?plugin=atta...
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