News/Exhibition at the U-Tokyo Administrative Building 2007

銀時計つながりのMEMS展示

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内容:圧電マイクロアクチュエータ(ラベルが小さいので,天眼鏡で拡大してみました).上の圧電マイクロアクチュエータは,水晶zカット板をフッ酸を用いた異方性ウェットエッチングで加工して製作したものです.すなわち,水晶振動子とおなじ原理で製作され,駆動できるアクチュエータです.なお,このブースには以前は恩賜銀時計が展示されていました.機械式の時計に対して,現在の展示はクォーツ式時計の振動子という意味で,関連づけてみました,.

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Introduction to Dept. Informatics and Electronics, IIS
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Last-modified: 2023-09-02 (土) 22:09:14